Robust control of piezostage for nanoscale three-dimensional images acquisition / Cavanini, Luca; Corradini, Maria Letizia; Criante, L.; DI DONATO, Andrea; Farina, Marco; Ippoliti, Gianluca; Lo Turco, S.; Orlando, Giuseppe; Travaglini, Carmine. - (2016), pp. 5107-5112. (Intervento presentato al convegno 42nd Conference of the Industrial Electronics Society, IECON 2016 tenutosi a Florence, Italy nel October 24-27, 2016) [10.1109/IECON.2016.7793514].
Robust control of piezostage for nanoscale three-dimensional images acquisition
CAVANINI, Luca;DI DONATO, Andrea;FARINA, Marco;IPPOLITI, Gianluca;ORLANDO, Giuseppe;
2016-01-01
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