PULSED EXCIMER LASER ABLATION DEPOSITION OF YSZ AND TiN/YSZ THIN FILMS ON Si SUBSTRATES / Caricato, A. P.; DI CRISTOFORO, A.; Fernandez, M.; Leggieri, G.; Luches, A.; Majni, Giuseppe; Mengucci, Paolo. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 208-209:(2003), pp. 615-619.
PULSED EXCIMER LASER ABLATION DEPOSITION OF YSZ AND TiN/YSZ THIN FILMS ON Si SUBSTRATES
MAJNI, GIUSEPPE;MENGUCCI, Paolo
2003-01-01
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