Laser reactive ablation deposition of silicon nitride films / M. L., DE GIORGI; G., Leggieri; A., Luches; M., Martino; A., Perrone; Majni, Giuseppe; Mengucci, Paolo. - In: APPLIED PHYSICS. A, MATERIALS SCIENCE & PROCESSING. - ISSN 0947-8396. - 60:(1995), pp. 275-283.
Laser reactive ablation deposition of silicon nitride films
MAJNI, GIUSEPPE;MENGUCCI, Paolo
1995-01-01
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