Excimer laser reactive deposition of vanadium nitride thin films / D'Anna, E.; DI CRISTOFORO, A.; Fernandez, M.; Leggieri, G.; Luches, A.; Majni, Giuseppe; Mengucci, Paolo; Nanai, L.. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 186:(2002), pp. 496-501.
Excimer laser reactive deposition of vanadium nitride thin films
MAJNI, GIUSEPPE;MENGUCCI, Paolo;
2002-01-01
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