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We report on the structural, optical and electrical properties of undoped microcrystalline silicon films deposited by ECR-CVD technique. In detail, films with a crystallinity fraction larger than 60%, optical absorption spectra close to those of monocrystalline silicon, deposition rate higher than 1 angstrom/s and electron mobility of approximately 50 cm2/V s have been obtained at substrate temperatures ranging from 200 to 300 °C.
Large area microcrystalline silicon films grown by ECR-CVD / S., F., P., M., G., C., F., G., C. F., P., Barucca, G.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 383:1-2(2001), pp. 181-184. [10.1016/S0040-6090(00)01630-8]
Large area microcrystalline silicon films grown by ECR-CVD
S. FERRERO;P. MANDRACCI;G. CICERO;F. GIORGIS;C. F. PIRRI;BARUCCA, Gianni
2001-01-01
Abstract
We report on the structural, optical and electrical properties of undoped microcrystalline silicon films deposited by ECR-CVD technique. In detail, films with a crystallinity fraction larger than 60%, optical absorption spectra close to those of monocrystalline silicon, deposition rate higher than 1 angstrom/s and electron mobility of approximately 50 cm2/V s have been obtained at substrate temperatures ranging from 200 to 300 °C.
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11566/39921
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simulazione ASN
Il report seguente simula gli indicatori relativi alla propria produzione scientifica in relazione alle soglie ASN 2023-2025 del proprio SC/SSD. Si ricorda che il superamento dei valori soglia (almeno 2 su 3) è requisito necessario ma non sufficiente al conseguimento dell'abilitazione. La simulazione si basa sui dati IRIS e sugli indicatori bibliometrici alla data indicata e non tiene conto di eventuali periodi di congedo obbligatorio, che in sede di domanda ASN danno diritto a incrementi percentuali dei valori. La simulazione può differire dall'esito di un’eventuale domanda ASN sia per errori di catalogazione e/o dati mancanti in IRIS, sia per la variabilità dei dati bibliometrici nel tempo. Si consideri che Anvur calcola i valori degli indicatori all'ultima data utile per la presentazione delle domande.
La presente simulazione è stata realizzata sulla base delle specifiche raccolte sul tavolo ER del Focus Group IRIS coordinato dall’Università di Modena e Reggio Emilia e delle regole riportate nel DM 589/2018 e allegata Tabella A. Cineca, l’Università di Modena e Reggio Emilia e il Focus Group IRIS non si assumono alcuna responsabilità in merito all’uso che il diretto interessato o terzi faranno della simulazione. Si specifica inoltre che la simulazione contiene calcoli effettuati con dati e algoritmi di pubblico dominio e deve quindi essere considerata come un mero ausilio al calcolo svolgibile manualmente o con strumenti equivalenti.
