Excimer laser reactive ablation deposition of silicon nitride films / E., D'Anna; G., Leggieri; A., Luches; M., Martino; A., Perrone; G., Majni; Mengucci, Paolo; R., Alexandrescu; I. N., Mihailescu; J., Zemek. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 86:(1995), pp. 170-174.
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