Laser reactive ablation deposition of nitride films / A., Luches; G., Leggieri; M., Martino; A., Perrone; G., Majni; Mengucci, Paolo; I. N., Mihailescu. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 79/80:(1994), pp. 244-249.

Laser reactive ablation deposition of nitride films

MENGUCCI, Paolo;
1994-01-01

1994
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