Multilayer titanium nitride and silicide synthesized by multipulse excimer laser irradiation / E., D'Anna; G., Lrggieri; A., Luches; M., Martino; A., Perrone; Mengucci, Paolo; I. N., Mihailescu. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 54:(1992), pp. 353-357.

Multilayer titanium nitride and silicide synthesized by multipulse excimer laser irradiation

MENGUCCI, Paolo;
1992-01-01

1992
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