Simultaneous formation of titanium nitride and titanium silicide in a one-step process in heterogeneous phase during multipulse laser treatment of a Si wafer with a thin Ti coating in superatmospheric N2 / I. N., Mihailescu; N., Chitica; A., Lita; V. S., Teodorescu; A., Luche; G., Leggieri; M., Martino; G., Majni; Mengucci, Paolo. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 251:(1994), pp. 23-29.
Simultaneous formation of titanium nitride and titanium silicide in a one-step process in heterogeneous phase during multipulse laser treatment of a Si wafer with a thin Ti coating in superatmospheric N2
MENGUCCI, Paolo
1994-01-01
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