Surface nitridation by multipulse excimer laser irradiation / D'Anna, E; Leggieri, Gilbrto; Luches, A.; Martino, M.; Mengucci, Paolo; Mihailescu, I. N.; Zemek, J.. - In: PROGRESS IN SURFACE SCIENCE. - ISSN 0079-6816. - STAMPA. - 35:1-4(1990), pp. 129-142. [10.1016/0079-6816(90)90031-E]
Surface nitridation by multipulse excimer laser irradiation
LEGGIERI, GILBRTO;MENGUCCI, Paolo;
1990-01-01
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