Special issue of E-MRS 2015 Symposium
Scanning optical cavity for internal roughness measurement of embedded micro-structures / DI DONATO, Andrea; Lo Turco, Sara; Criante, Luigino. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - ELETTRONICO. - 19:(2016). [10.1016/j.tsf.2016.06.037]
Scanning optical cavity for internal roughness measurement of embedded micro-structures
DI DONATO, Andrea;CRIANTE, Luigino
2016-01-01
Abstract
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