Application of Micro Scanning Laser Doppler Vibrometer for dynamic characterization and Quality factor assessment in Micro Electro Mechanical Devices (MEMS) / Castellini, Paolo; R., Huebner; M., Pinotti. - 2004:(2004). (Intervento presentato al convegno 22th International Modal Analysis Conference tenutosi a Dearbourn, USA).
Application of Micro Scanning Laser Doppler Vibrometer for dynamic characterization and Quality factor assessment in Micro Electro Mechanical Devices (MEMS)
CASTELLINI, Paolo;
2004-01-01
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