Synthesis of pure titanium nitride layers by multipulse excimer laser irradiation / E., D'Anna; G., Leggieri; A., Luches; M., Martino; Mengucci, Paolo; I. N., Mihailescu. - 29:(1991), pp. 175-182.

Synthesis of pure titanium nitride layers by multipulse excimer laser irradiation

MENGUCCI, Paolo;
1991-01-01

1991
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