Application of Micro Scanning Laser Doppler Vibrometer for dynamic characterization and Quality factor assessment in Micro Electro Mechanical Devices (MEMS) / Castellini, Paolo; Marchetti, B; Tomasini, Enrico Primo. - (2004).
Application of Micro Scanning Laser Doppler Vibrometer for dynamic characterization and Quality factor assessment in Micro Electro Mechanical Devices (MEMS)
CASTELLINI, Paolo;TOMASINI, Enrico Primo
2004-01-01
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.