Structural properties of 3C-SiC layers grown on Si substrates by electron cyclotron resonance CVD technique / F. GIORGIS; A. CHIODONI; G. CICERO; S. FERRERO; P. MANDRACCI; C.F. PIRRI; G. BARUCCA; L. CALCAGNO; G. FOTI; P. MUSUMECI; R. REITANO. - 650(2001), p. H5.9.1.. ((Intervento presentato al convegno Mat. Res. Soc. Symp..
Titolo: | Structural properties of 3C-SiC layers grown on Si substrates by electron cyclotron resonance CVD technique. |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2001 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11566/49785 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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