Silicon nanostructures produced by self-masked plasma etching / Barucca, Gianni; Santecchia, Eleonora; Mengucci, Paolo; Tiberi, Emanuele; Di Mundo, R.; D'Agostino, R.; F., Palumbo. - ELETTRONICO. - (2013), pp. 599-600. (Intervento presentato al convegno Multinational Conference (MC) 2013 tenutosi a Regensburg nel 25-30 August 2013).
Silicon nanostructures produced by self-masked plasma etching.
BARUCCA, Gianni;SANTECCHIA, ELEONORA;MENGUCCI, Paolo;TIBERI, EMANUELE;
2013-01-01
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