Laser reactive ablation deposition of titanium nitride and titanium carbide films / D'Anna, E.; Leggieri, G.; Luches, A.; Martino, M.; Perrone, A.; Majni, Giuseppe; Mengucci, Paolo; Mihailescu, I. N.. - STAMPA. - 2246:(1994), pp. 96-106. (Intervento presentato al convegno SPIE).

Laser reactive ablation deposition of titanium nitride and titanium carbide films

MAJNI, GIUSEPPE;MENGUCCI, Paolo;
1994-01-01

1994
SPIE
0819415529
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