Laser reactive ablation deposition of titanium nitride and titanium carbide films / D'Anna, E., Leggieri, G., Luches, A., Martino, M., Perrone, A., Majni, G., Mengucci, P., Mihailescu, I.N.. - STAMPA. - 2246:(1994), pp. 96-106. (SPIE ).
Laser reactive ablation deposition of titanium nitride and titanium carbide films
MAJNI, GIUSEPPE;MENGUCCI, Paolo;
1994-01-01
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