Multilayer titanium nitride and silicide structures synthesized by multipulse excimer laser irradiation / D'Anna, E.; De Giorgi, M. L.; Leggieri, G.; Luby, S.; Luches, A.; Martino, M.; Mengucci, Paolo; Mihailescu, I. N.. - 24:(1992), pp. 353-357. (Intervento presentato al convegno E-MRS Meeting tenutosi a Strasbourg).
Multilayer titanium nitride and silicide structures synthesized by multipulse excimer laser irradiation
MENGUCCI, Paolo;
1992-01-01
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