Multilayer titanium nitride and silicide structures synthesized by multipulse excimer laser irradiation / D'Anna, E., De Giorgi, M.L., Leggieri, G., Luby, S., Luches, A., Martino, M., Mengucci, P., Mihailescu, I.N.. - 24:(1992), pp. 353-357. (E-MRS Meeting Strasbourg ).
Multilayer titanium nitride and silicide structures synthesized by multipulse excimer laser irradiation
MENGUCCI, Paolo;
1992-01-01
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