Titanium nitride-titanium silicide structures obtained by multipulse excimer laser irradiation / D'Anna, E.; De Giorgi, M. L.; Luches, A.; Martino, M.; Craciun, V.; Mihailescu, I. N.; Mengucci, Paolo. - STAMPA. - 1723:(1992), pp. 14-20. (Intervento presentato al convegno Laser Microtechnology and Laser Diagnostics of Surfaces).
Titanium nitride-titanium silicide structures obtained by multipulse excimer laser irradiation
MENGUCCI, Paolo
1992-01-01
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