Reactive pulsed laser deposition of thin molybdenum- and tungsten-nitride films / Bereznai, M; Majni, Giuseppe; Caricato, A; Fernadez, M; Luches, A; Mengucci, Paolo; Nagy, Pm; Juhasz, A; Nanai, L.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 473:(2005), pp. 16-23.
Reactive pulsed laser deposition of thin molybdenum- and tungsten-nitride films
MAJNI, GIUSEPPE;MENGUCCI, Paolo;
2005-01-01
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