Structural properties of 3C-SiC layers grown on Si substrates by electron cyclotron resonance CVD technique / F., Giorgis; A., Chiodoni; G., Cicero; S., Ferrero; P., Mandracci; C. F., Pirri; Barucca, Gianni; L., Calcagno; G., Foti; P., Musumeci; R., Reitano. - 650:(2001), p. H5.9.1.. (Intervento presentato al convegno Mat. Res. Soc. Symp.).
Structural properties of 3C-SiC layers grown on Si substrates by electron cyclotron resonance CVD technique.
BARUCCA, Gianni;
2001-01-01
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