Laser reactive ablation deposition of silicon carbide films / G., Leggieri; A., Luches; M., Martino; A., Perrone; R., Alexandrescu; A., Barborica; E., Gyorgy; I. N., Mihailescu; G., Majni; Mengucci, Paolo. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 96-98:(1996), pp. 866-869.

Laser reactive ablation deposition of silicon carbide films

MENGUCCI, Paolo
1996-01-01

1996
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